国产仪器:线性精度X/Y线性精度(3+L/200)um,z轴(5+L/200)um,这只是线性精度,测量精度会差一些根据产品的不同精度会在5-20um,进口仪器小一些
国产仪器:线性精度X/Y线性精度(3+L/200)um,z轴(5+L/200)um,这只是线性精度,测量精度会差一些根据产品的不同精度会在
5-20um,进口仪器小一些
国产仪器:线性精度X/Y线性精度(3+L/200)um,z轴(5+L/200)um,这只是线性精度,测量精度会差一些根据产品的不同精度会在
5-20um,进口仪器小一些