二次元测量仪的测量精度是多少啊?

2020-08-25 19:44

问题补充:
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国产仪器:线性精度X/Y线性精度(3+L/200)um,z轴(5+L/200)um,这只是线性精度,测量精度会差一些根据产品的不同精度会在

5-20um,进口仪器小一些