请问二氧化硅、氮化硅和磷原子在半导体制造中的作用分别是什么？

2019-04-08 07:46

创大钢铁APP

jh8s5 ·

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磷原子是掺杂原子，用于二氧化硅（硅片的热氧化层）和氮化硅化僵物半导体的掺杂，使其它变N型半导体。

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