氮化炉在漏气较轻微的情况下，漏气一般不会对工件的氮化质量造成太大的影响（不锈钢系列除外）。但如果设备漏气较严重，则漏气会影响到工件的氮化质量，必须予以检修。

真空设备的检漏相对来说是比较困难的，通常采用“分段”检查的办法，即一段一段的检查。

1：氮化炉首先将氮化炉体与供气系统分离，目的是分清漏气是由氮化炉炉体造成的还是由供气系统造成的，将进气管与钟罩分离，然后将进气气接头处封死（可使用专业的堵头或真空封泥），启动真空泵抽真空，抽到较高真空度（如30Pa左右或者更高）后，关闭蝶阀，停顿一段时间（15-30分钟）后，观察设备的漏气情况。

2：在完成步的工作后，若氮化炉炉体漏气，则应逐个检查可能产生漏气的各密封部位（包括观察窗，充气装置，钟罩下部密封法兰面，底盘上的大密封圈，测压部分密封处，阴极部位密封处，蝶阀及抽气管道之间的联结法兰面等，）直至氮化炉炉体基本不漏气为止。

3：在完成步的工作后若氮化炉炉体不漏气，说明氮化炉炉体各个密封部位完好，接着再慢慢地打开蝶阀。

①：首先检查波纹管两端的密封部位，若密封法兰松动应均匀紧固，若密封圈损坏及时更换。

②：然后检查电磁阀内的密封圈是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成漏气，发现存有此种情况，可用沾汽油的干净抹布将灰渣清理干净

③：最后再检查波纹软管，检查可采用密封加压（压力为0.1pa）的方法进行，加压后管体分段浸入水中，观察漏气部位，（加压时应避免波纹管伸长）

4：在完成第三步工作，已解决氮化炉炉体漏气问题或确认漏气不是有氮化炉炉体引起后，重新将步中与氮化炉炉体脱离的进气管连接到氮化炉炉体钟罩上（并保证接头处密封完好），先关死各流量计，再启动真空泵对氮化炉炉体抽真空，此步骤的目的是检查供气系统的漏气情况，若发现设备又存在漏气，可检查进气接头部分，气管各种气源流量汇流三通各连接处的密封情况，直至漏气问题排除。

①：检查进气管与进气接头和流量计出口接头处的密封情况，若怀疑漏气，接头处可用真空封泥密封

②：检查流量计能否关死，办法是堵死流量计的进口端，比较堵死与仅关闭流量计的漏气差异，如流量计关不死则需维修或更换

③：检查输氨软管是否漏气，若发现老化漏气，应予更换，通常，完成上述几个步骤的检查后，氮化炉炉体的漏气问题是可以解决的。